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SF6一体式气体回收装置
气体回收装置的应用领域包括医疗卫生,化工,地矿,道路/轨道/船舶,以及环保,石油,能源,电气,电子/电池等行业。
在石油化工行业,气体回收装置被用于回收炼油过程中产生的氢气、乙烯等有价值的气体;在半导体制造中,则是对高纯度气体的回收与循环利用至关重要。
气体回收装置主要由回收系统、充气系统、抽真空系统、净化系统、贮存系统等功能模块组成,其基本工作原理是采用冷冻液化法。压缩系统常采用SF6封闭压缩机或半封闭压缩机,具有耐氟特性以保证密封。抽真空系统采用双级旋片式真空泵,抽真空效率较高,系统中设有防止返回油装置或电磁真空带充气阀。净化系统包括干燥过滤器、粒子过滤器,采用高效吸附剂和滤芯,过滤器带有电加热再生装置,可对吸附剂进行真空加热活化再生,以减少更换频率 。

SF6一体式气体回收装置
气体回收装置(以SF6气体回收装为例)的基本工作原理是采用冷冻液化法。
在回收时,利用压缩机的抽吸性和压缩性把SF6电器设备内一定压力的SF6气体吸入压缩机,并压缩至某一较高的压力;同时利用R22制冷剂的低蒸发温度特性,将较高温度的SF6气体冷却至冷凝温度进行液化、贮存。当SF6从一个气室中抽出时,气体便自动地流经净化过滤器,通过SF6压缩机压缩冷却,可以气态也可以在一定高压下以液态形式储入SF6贮罐。