有害气体回收装置 装置基本采用冷冻液化法与物理吸附技术，通过压缩机、真空泵、制冷系统实现气体液化贮存，并配备双级旋片式真空泵和高效吸附剂进行净化处理，其吸附剂可通过加热活化再生。

有害气体回收装置

用于回收工业废气及贵重气体的设备
在充放时，首先利用本装置的真空泵对SF6电器设备（或钢瓶）和连接管路进行抽真空，然后直接利用压差或利用压缩机的抽吸性并造成一定的压差将装置贮存容器内的SF6充入SF6电器设备，直至达到所需的工作压力。充气工作分两个步骤进行：首先借助SF6贮罐压力使气体流向SF6开关，直至达到预定的充气压力；当SF6贮罐压力与SF6开关压力平衡时，再采用压缩机进行加压充气，直至达到预定充气压力 。
净化功能是在完成回收、充放功能时同步完成的。系统中设置了两只油分离器，分别安装在压缩机的出口，以有效去除SF6气体所带的油份。系统回路中设置了干燥过滤器，以保证进入贮存容器的SF6的纯度并有效去除水份；过滤器带有加热再生装置，可在抽真空下加热再生，分子筛从而能反复使用。

有害气体回收装置

在回收时，利用压缩机的抽吸性和压缩性把SF6电器设备内一定压力的SF6气体吸入压缩机，并压缩至某一较高的压力；同时利用R22制冷剂的低蒸发温度特性，将较高温度的SF6气体冷却至冷凝温度进行液化、贮存。当SF6从一个气室中抽出时，气体便自动地流经净化过滤器，通过SF6压缩机压缩冷却，可以气态也可以在一定高压下以液态形式储入SF6贮罐。